9月15日上午，“第二屆中國（上海）自貿(mào)區(qū)臨港新片區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇”在上海正式召開。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯做了題為《打造全方位高質(zhì)量的，有國際競爭力的半導(dǎo)體設(shè)備公司》的報告，詳細(xì)的介紹了中微公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的布局和取得的成績，以及在產(chǎn)品質(zhì)量管理、知識產(chǎn)權(quán)管理，公司管理和股權(quán)及利益分配等方面的見解。

以下為芯智訊根據(jù)尹志堯演講內(nèi)容并結(jié)合相關(guān)行業(yè)資料進行的綜合整理：

1、半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要性與機會

根據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）的預(yù)測，2021年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模將超過5000億美元，年增長率達23%創(chuàng)歷史新高，2022年規(guī)模將達6000億美元，年增長率達10%再創(chuàng)新高。SEMI預(yù)告未來5年，全球半導(dǎo)體市場銷售額達到1萬億美元。

相對于全球半導(dǎo)體市場的規(guī)模而言，半導(dǎo)體設(shè)備市場的規(guī)模就要小很多。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)顯示，2020年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的銷售額達到了712億美元，創(chuàng)下歷史新高。預(yù)估全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售總額今年將增長34%，達到953億美元，在晶圓制造市場激增的需求推動下，2022年半導(dǎo)體設(shè)備市場有望再創(chuàng)新高，突破1000億美元大關(guān)。

也就是說，2022年半導(dǎo)體設(shè)備市場的規(guī)模只有半導(dǎo)體芯片市場規(guī)模的1/6左右。這還是在全球晶圓制造廠商大規(guī)模擴產(chǎn)，對于半導(dǎo)體設(shè)備需求激增的背景之下。

尹志堯也表示，芯片制造產(chǎn)業(yè)離不開半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的支撐，但是半導(dǎo)體設(shè)備市場有兩個缺點，一個是市場規(guī)模很小，只有幾百億美元，是芯片整個產(chǎn)業(yè)的不到十分之一。另一個是半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)是躲在幕后的B2B模式，多數(shù)人不曉得設(shè)備做什么。但是半導(dǎo)體設(shè)備的作用是非常重要的。并且，現(xiàn)在有兩個主要的驅(qū)動力使得等離子刻蝕機、化學(xué)薄膜沉積設(shè)備的重要性越來越凸顯。一個是半導(dǎo)體芯片從2D到3D的演變；另一個則是先進制程工藝的持續(xù)發(fā)展。

從邏輯芯片制造來看，由于光刻機波長限制，EUV光刻機要做到10nm以下，實際是靠著二重模板，四重模板效應(yīng)來實現(xiàn)的。而這其中需要更多的應(yīng)用到等離子刻蝕機、化學(xué)薄膜沉積設(shè)備。比如邏輯器件從14nm做到5nm，整個工藝過程大概增加了一倍（現(xiàn)在已經(jīng)需要到一千個步驟），但是其中需要用到等離機刻蝕機的步驟增加了三倍。

從存儲芯片來看，過去如果是做2D NAND Flash，整個生產(chǎn)線的設(shè)備成本當(dāng)中，刻蝕機只占20%-25%，但是現(xiàn)在做一條3D NAND Flash產(chǎn)線，刻蝕設(shè)備占比將高達40%-50%。

根據(jù)研究機構(gòu)的數(shù)據(jù)顯示，2015至2027年間，離子刻蝕設(shè)備、化學(xué)薄膜沉積設(shè)備市場的增長是最快的。

根據(jù)預(yù)測數(shù)據(jù)顯示，今年等離子刻蝕設(shè)備市場規(guī)模將會超過130億美元，2025年將會達到150億美元。

尹志堯表示：“從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢來看，一定要加大力度發(fā)展半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。現(xiàn)在我們國家對這方面認(rèn)識程度還不夠，這是嚴(yán)重缺失的領(lǐng)域，還需要大力發(fā)展。最近兩年美國對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的打壓，都是通過限制半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用來限制中國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2、中微半導(dǎo)體的產(chǎn)品布局

作為國內(nèi)知名的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，中微半導(dǎo)體一直以來也是聚焦于等離子刻蝕設(shè)備、化學(xué)薄膜沉積設(shè)備，已經(jīng)有四種比較成熟的產(chǎn)品，并且這四種設(shè)備已經(jīng)進入國際前三強的位置，有的甚至到了[敏感詞]的位置。

根據(jù)中微半導(dǎo)體公布的數(shù)據(jù)顯示，2018到2020年，等離子刻蝕設(shè)備、化學(xué)薄膜沉積設(shè)備和檢測設(shè)備在集成電路前段設(shè)備當(dāng)中的總體產(chǎn)比已經(jīng)超過45%，并且將超過50%。其中，等離子刻蝕機占比20-25%，在該領(lǐng)域中微半導(dǎo)體的產(chǎn)品已經(jīng)實現(xiàn)了全面覆蓋；化學(xué)薄膜沉積設(shè)備占比15-17%，在該領(lǐng)域中微半導(dǎo)體和拓荊科技也已實現(xiàn)全面覆蓋；檢測設(shè)備市場占比11-13%，在該領(lǐng)域中微半導(dǎo)體和睿勵科學(xué)儀器實現(xiàn)了部分覆蓋。

下圖是中微半導(dǎo)體最近開發(fā)的CCP電容性高能等離子刻蝕機Primo HD-RIE，有6米長，5米寬，大概3米高，有16噸重。

尹志堯表示，中微的刻蝕機在中國本土市場3D NAND晶圓廠的市場占有率已經(jīng)做到了35%。在國內(nèi)兩個[敏感詞]邏輯器晶圓廠，我們的市場占有率已經(jīng)接近40%。

在臺灣兩家晶圓廠當(dāng)中，一個是邏輯線路器件晶圓廠，在14nm產(chǎn)線上，中微的刻蝕機占比已經(jīng)達到了24%，排名第二位。在另一家NAND晶圓廠，中微刻蝕機的占比也已經(jīng)達到了37%，也進入了第二位。

“我們不斷改進了反應(yīng)器設(shè)計和設(shè)備性能，從2014年到2021年，我們的刻蝕設(shè)備最難做的是高身寬比細(xì)孔，從20:1做到40:1，現(xiàn)在可以突破做到60:1的身寬比，要做成更高可靠設(shè)備還是需要努力?！?span style="box-sizing: border-box !important; max-width: 100%; margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; overflow-wrap: break-word !important;">尹志堯說到。

中微的另一類型刻蝕設(shè)備就是ICP電感性低能等離子刻蝕機Primo nanova，可以用于大批量生產(chǎn)存儲芯片和邏輯芯片的前道工序。該設(shè)備采用了中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)和許多創(chuàng)新的功能，以幫助客戶達到芯片制造工藝的關(guān)鍵指標(biāo)，例如關(guān)鍵尺寸（CD）刻蝕的精準(zhǔn)度、均勻性和重復(fù)性等?？梢詾?nm、5nm及更先進的半導(dǎo)體器件刻蝕應(yīng)用提供比其他同類設(shè)備更好的工藝加工能力，和更低的生產(chǎn)成本。

此外，中微半導(dǎo)體近年來也開發(fā)出了深硅刻蝕機及MOCVD設(shè)備，并且很快進入了市場。特別是在MOCVD有機金屬化合物氣相沉積設(shè)備方面，中微半導(dǎo)體已經(jīng)發(fā)展到了第三代。

據(jù)尹志堯介紹，在2018年四季度，中微半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備在國際氮化鎵基MOCVD市場占有率已經(jīng)達到了70%以上。

尹志堯表示，由于LED、MiniLED、MicroLED市場的需求快速增長，MOCVD設(shè)備開始被廣泛應(yīng)用于LED、MiniLED、MicroLED的制造，因為主要需要解決發(fā)光元件即可，不需要像制造邏輯或存儲芯片那樣復(fù)雜，因此也吸引了眾多的企業(yè)入局。

根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，近十年以來，國內(nèi)已有54家公司和研究所曾宣布開發(fā)MOCVD設(shè)備，但是只有中微半導(dǎo)體成功量產(chǎn)。

△中微半導(dǎo)體開發(fā)的MOCD有機金屬化合物氣象沉積設(shè)備100臺在客戶生產(chǎn)線上被用于產(chǎn)品量產(chǎn)。

據(jù)尹志堯介紹，2017年到2021年，中微半導(dǎo)體的MOCVD設(shè)備也在不斷進行了改進和提高，藍綠光LED波長均勻性，已經(jīng)成功從波長1.57nm做到了0.7nm左右。

憑借出色的產(chǎn)品競爭力，中微的半導(dǎo)體設(shè)備獲得了眾多國內(nèi)外客戶的廣泛認(rèn)可。在2018年-2019年美國VLSI Reaseach全球半導(dǎo)體設(shè)備公司產(chǎn)品客戶滿意度評比中，中微半導(dǎo)體的是評比中，中微連續(xù)兩年獲得全球第三名。在2021年的客戶滿意度評比中，中微也有三項排名位居前列。

3、產(chǎn)品創(chuàng)新：不要跟著外國人的設(shè)計

成立于2004年的中微半導(dǎo)體，從一家小的初創(chuàng)公司發(fā)展至今，已經(jīng)成為了一家市值近千億的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司，并且在刻蝕設(shè)備及化學(xué)薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域擁有了較強的產(chǎn)品競爭力。

“中微公司經(jīng)過17年努力，已經(jīng)做到在國際上被認(rèn)可的高質(zhì)量設(shè)備公司。我們最近在總結(jié)這個17年經(jīng)驗和教訓(xùn)，提出了四個十大原則，指導(dǎo)我們能夠把公司做大的一個基本經(jīng)驗。包括產(chǎn)品開發(fā)十大原則、戰(zhàn)略和商務(wù)十大準(zhǔn)則，運營管理的十大章法和精神文化十大作風(fēng)。”

特別是在中微產(chǎn)品開發(fā)十大原則方面，尹志堯表示：“我特別強調(diào)的是，開發(fā)產(chǎn)品不要老跟著外國人的設(shè)計，這樣是不可能進一步發(fā)展的，所以中微在2004年啟動的時候就提出來一個新的等離子源的概念，深高頻去耦合的反應(yīng)離子刻蝕，把高頻和低頻混頻在電機上，這樣的新型刻蝕機有非常好的性能?！?

另外，在機械結(jié)構(gòu)上，中微半導(dǎo)體也做了創(chuàng)新?！懊绹际菃畏磻?yīng)器的反應(yīng)臺，加工一片硅片成本很高，占地面積很大。我們回國以后提出雙反應(yīng)臺的概念，一個反應(yīng)腔里面有兩個反應(yīng)臺，可以獨立操作，也可以混合操作，誤差一般在正負(fù)1%左右。這個設(shè)計到現(xiàn)在為止，國外三大公司都還沒有做，只有中微能做出獨立操作的雙臺機，這樣使得成本降低了30%多，輸出量提高了50%?！?span style="box-sizing: border-box !important; max-width: 100%; margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; font-size: 16px; text-align: left; overflow-wrap: break-word !important;">尹志堯非常自豪的介紹到。

4、采取三維生長策略：10到15年內(nèi)成為國際一流

在中微公司的戰(zhàn)略和營運方面有著十大準(zhǔn)則，前5條都是公司的發(fā)展戰(zhàn)略，包括三維市場和產(chǎn)品發(fā)展戰(zhàn)略、有機生長和外延擴展的戰(zhàn)略、客戶導(dǎo)向與引領(lǐng)市場的策略、立足中國和全球布局的策略、自立自強和合縱連橫策略。

尹志堯強調(diào)，“我們的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，不能只是滿足于國內(nèi)的國產(chǎn)替代，必須要打到國際上。另外我們也需要和國際半導(dǎo)體設(shè)備廠商、國際產(chǎn)業(yè)界合作，不能是關(guān)起門自己搞，這屬于發(fā)展戰(zhàn)略?！?

在中微上市以后，決定采取三維生長策略。[敏感詞]維是集成電路設(shè)備，從刻蝕機做到檢測機，不斷發(fā)展產(chǎn)品的覆蓋度，現(xiàn)在有40%左右高端產(chǎn)品都可以覆蓋，將來可以提高到50%以上。第二維是利用同樣核心技術(shù)開發(fā)泛半導(dǎo)體設(shè)備，也包括薄膜設(shè)備、刻蝕設(shè)備、檢測設(shè)備，中微已經(jīng)成功進入了這些市場。此外，中微也在投資太陽能設(shè)備市場、顯示屏技術(shù)，還有功率器件等等，這些領(lǐng)域發(fā)展的也是非常之快。第三維是非加工設(shè)備，或者其他的一些領(lǐng)域。

作為半導(dǎo)體設(shè)備廠商，中微為什么還要做非微觀加工設(shè)備呢？

尹志堯解釋稱：“設(shè)備產(chǎn)業(yè)周期性太強了，有兩年好，兩年壞。一個成熟公司，有相當(dāng)規(guī)模公司，如果銷售大起大落，對公司發(fā)展很受影響。所以我們開展第三戰(zhàn)場，它的發(fā)展周期和設(shè)備工業(yè)周期有很大的差別，這樣可以互補，使得公司可以穩(wěn)定發(fā)展，而不是大起大落的發(fā)展。”

“中微的目標(biāo)是，通過三維生長，在10到15年內(nèi)成為國際一流的微觀加工設(shè)備公司?！?span style="box-sizing: border-box !important; max-width: 100%; margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; font-size: 16px; text-align: left; overflow-wrap: break-word !important;">尹志堯非常有信心的說到。

5、中微半導(dǎo)體的營運管理

在公司的營運管理方面，中微半導(dǎo)體提出十大章法。包括目標(biāo)管理制度（MBO），有360度的評價機制；指標(biāo)管理制度（KPI）；民主集中制的決策機制；全員持股的股權(quán)期權(quán)激勵制度；跨部門合作的矩陣管理制度；嚴(yán)格且智能的生產(chǎn)管理制度；系統(tǒng)的供應(yīng)鏈和質(zhì)量管理制度；嚴(yán)格的知識產(chǎn)權(quán)管理制度；季度審查總結(jié)會制度（QCR）和七個利用集團的合作共贏機制。

比如在KPI方面，中微半導(dǎo)體通過下圖中的十多個指標(biāo)來看公司運轉(zhuǎn)的健康程度。尹志堯表示，中微的很多指標(biāo)已經(jīng)達到國際[敏感詞]水平。

比如在準(zhǔn)時送出設(shè)備的時間上，按時運輸比例中微一般可以保持在100%；還有每一個設(shè)備運出的缺陷，包括軟件缺陷，在國際上一般都是5-7個左右，中微現(xiàn)在可以做到2-3個，通過KPI管理可以改進公司的運轉(zhuǎn)。

知識產(chǎn)權(quán)管理

另外知識產(chǎn)權(quán)管理也是非常重要的一方面。國內(nèi)有些公司在知識產(chǎn)權(quán)管理做的不到位，導(dǎo)致被國外企業(yè)起訴，甚至被國外有關(guān)部門制裁，所以知識產(chǎn)權(quán)管理非常重要。

從2004年8月到2021年6月，中微半導(dǎo)體已申請了1883個專利，其中發(fā)明專利1613件，占比85.7%；已獲得1115個專利，其中發(fā)明專利945件，占比84.8%。

在2014年和2021年，中微半導(dǎo)體還兩次獲得中國專利金獎。

憑借多年來積累的專利，中微建立自己的專業(yè)保護池，其中有很多專利其實是有目（保護自身）的來申請的。

除了專利方面的布局之外，在人才管理方面，如果是從競爭對手公司跳槽進入到中微，必須嚴(yán)格遵守不帶任何技術(shù)資料帶到中微公司，不能談?wù)撛瓉碓谌魏喂镜募夹g(shù)細(xì)節(jié)。

中微半導(dǎo)體在開發(fā)產(chǎn)品時，也會對對手專利做非常詳細(xì)的研究，避免侵犯對方專利?！拔覀冄芯苛巳Ф鄠€對手專利。我們對專利把控比美國專利局和中國專利局還要細(xì)致。”

此外，中微半導(dǎo)體還建立了“攻防機制”。即使專利和知識產(chǎn)權(quán)、商業(yè)機密都控制的很好，如果對手對中微半導(dǎo)體進行進攻的話，可能是在哪幾個方向，中微都做了充分準(zhǔn)備，這樣，一旦發(fā)生了專利訴訟或相關(guān)事件，就可以迅速的反應(yīng)，取得主動。

即使中微半導(dǎo)體在知識產(chǎn)權(quán)上做的很到位，在過去十幾年還是受到了美國三個設(shè)備公司四次專利官司。其中三次是被美國設(shè)備公司起訴，一次是中微半導(dǎo)體起訴美國設(shè)備公司。其中兩個是中微獲勝，兩個是雙方達成和解。

“嚴(yán)格的知識產(chǎn)權(quán)管理體系，使中微十幾年來在法律訴訟上一直處于不敗之地。”尹志堯說到。

另外，尹志堯還強調(diào)，作為一家企業(yè)，必須要嚴(yán)格遵守各國政府的知識產(chǎn)權(quán)的法律和進出口規(guī)則?！?/span>我們畢竟不是制定規(guī)則人，我們必須服從各個國家規(guī)則，這樣保持我們能夠安全的運轉(zhuǎn)?！?/span>

“我們原來和美國商業(yè)部關(guān)系很緊張，到后面走向了相互理解。2015年商業(yè)部工業(yè)安全局局長親自宣布把美國對中國實行了幾十年的等離子刻蝕設(shè)備出口控制給去掉了，可以自由貿(mào)易了。中微也進入了美國的終端客戶認(rèn)證，這樣我們才在出口上有比較寬松的環(huán)境?！?span style="box-sizing: border-box !important; max-width: 100%; margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; overflow-wrap: break-word !important;">尹志堯舉例說到。

另外值得注意的是，在今年1月，中微半導(dǎo)體被美國列入涉軍企業(yè)名單。不過隨后在今年6月，美國[敏感詞]部就將中微半導(dǎo)體從涉軍企業(yè)名單中刪除。

質(zhì)量管理

在質(zhì)量管理體系上，中微半導(dǎo)體總結(jié)出了“三全、三重保險、三個滿意”的質(zhì)量管理模式。

所謂三全，是指全過程、全員、全方位。

通常很多公司理解質(zhì)量管理就是建立一個質(zhì)量管理部門，來監(jiān)督質(zhì)量。而中微的“三全”，其實是讓所有部門，所有人都是質(zhì)量安全員。

全方位指的是上圖當(dāng)中的十個方面。包括產(chǎn)品開發(fā)質(zhì)量管理、供應(yīng)廠商質(zhì)量管理、客戶服務(wù)質(zhì)量管理、生產(chǎn)制造質(zhì)量管理、知識產(chǎn)權(quán)質(zhì)量管理、行政運營質(zhì)量管理、人才團隊質(zhì)量管理、財務(wù)計控質(zhì)量管理、安全可控質(zhì)量管理、公共綜合質(zhì)量管理等。

尹志堯稱：“我們提出十個方位質(zhì)量管理體系，最后目標(biāo)是達到客戶和供應(yīng)商滿意，達到產(chǎn)業(yè)和市場滿意，還有政府和國家都要滿意?！?

所謂“三重保險”，就是在以上十個方面都確定了三重保險。因為，任何一個質(zhì)量問題都會出在某一個人在某一刻的工作失誤上，出現(xiàn)幾率還是很高的。為了確保質(zhì)量能夠做到[敏感詞]，中微半導(dǎo)體設(shè)計了三重保險。

利益分配機制

最近國家在研究扎實促進共同富裕問題，并將“三次分配”作為調(diào)節(jié)收入分配、實現(xiàn)共同富裕的有效路徑。尹志堯在演講當(dāng)中也提到了半導(dǎo)體企業(yè)的如何實現(xiàn)更好的“利益分配”機制的問題。

“現(xiàn)在很多半導(dǎo)體公司都是經(jīng)過一輪一輪融資起來的，資本進入公司肯定有價值的。但是公司價值不僅僅是資本創(chuàng)造的，特別是科創(chuàng)企業(yè)，主要是靠勞動創(chuàng)新創(chuàng)造的價值。但是，如果勞動創(chuàng)造的價值全都被資本分走了，這個就叫資本主義。而我們是社會主義，要解決剩余價值的合理分配問題。所以，我們中微是全員持股，并且提出概念是這樣的，管理層也好，員工也好，拿到公司股票不需要拿錢的，只要有勞動創(chuàng)造，經(jīng)過一定評價機制可以拿到公司股票。另外上市以后把股票減持，應(yīng)該算勞動資本投資，應(yīng)該是20%的資本利得稅，而不是45%所得稅。這樣分給員工股票期權(quán)，實際上已經(jīng)創(chuàng)造出來了工作價值。如果公司價值不增長的話，當(dāng)然不能亂發(fā)股票?！?

尹志堯表示：“中微每年平均20-30%價值增長，我們拿出十分之一的增長價值，以股票或期權(quán)的形式分給員工，不需要員工拿錢買，這是很合理的事情。而且這也不應(yīng)該計入公司的成本，因為這和公司營運一點關(guān)系都沒有，這些東西一定要正本清源，把這些問題解決了，我相信科創(chuàng)企業(yè)一定會更有生命力，所有員工也好，更會把自己利益和公司長遠(yuǎn)利益綁在一起?！?

在尹志堯看來，對于一個廣義上的公司來說，會有七個利益集團，包括公司領(lǐng)導(dǎo)集團、投資股東、顧問、員工、供應(yīng)商、客戶、政府等。要想一個公司成功，首先要讓所有參與這個公司的所有集團都來支持公司的發(fā)展，并得到利益的平衡。

公司要做大做強，整個總能量一定要[敏感詞]化，同時凈能量也要[敏感詞]化。領(lǐng)導(dǎo)集團需要把公司所有部門和所有人的積極性全部都發(fā)揮出來，實現(xiàn)總能量[敏感詞]。但是有了總能量之后，也會經(jīng)常出現(xiàn)問題。比如大家積極性起來以后，會出現(xiàn)互相之間的爭斗、內(nèi)部領(lǐng)導(dǎo)集團爭權(quán)奪利，各個部門之的利益爭奪，或者個人之間不合作了。所以，還需要把公司內(nèi)部營運中的內(nèi)耗降至[敏感詞]。

為此，中微非常強調(diào)公司精神文化，十多年總結(jié)出了公司精神文化的十大作風(fēng)，以確保公司持續(xù)發(fā)展的長治久安。

“一個公司從初創(chuàng)公司，最后成為國際國內(nèi)領(lǐng)先的公司，最開始要有技術(shù)和產(chǎn)品，到了發(fā)展中期階段，發(fā)展最快的時候，技術(shù)產(chǎn)品固然重要，更重要是公司營運能力和工作效率，處理各種集團之間矛盾的能力。而要做一個領(lǐng)頭公司，做一個百年老店，就要靠文化和作風(fēng)，如果文化作風(fēng)不正的話，這個公司做大了以后會垮下來?！?span style="box-sizing: border-box !important; max-width: 100%; margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; font-size: 16px; text-align: left; overflow-wrap: break-word !important;">尹志堯最后總結(jié)說到。

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